2025.11.10

精密を極める半導体製造装置に立ちはだかる“熱の壁”

半導体製造装置ではナノ精度を支える温度制御が重要。装置の高密度化により放熱不足や熱だまりが深刻化し、歩留まり低下や寿命短縮などの課題を招いている。