フォールディングフィン設置でカメラ温度を低減
(株式会社大日本科研様)

事例:株式会社大日本科研様

「品質第一」「顧客優先」を掲げ、光学・精密機構・電子制御・ソフトウェアの各技術を複合したオプトメカトロニクスの装置や液晶パネル製造装置を中心に展開してこられた大日本科研様。次世代に向けて、さらなる新技術の開発を意欲的に進められている中で、新しい露光装置に生じた課題の解決に協力させて頂きました。

株式会社大日本科研様

課題:露光装置のカメラ温度を低下させたい

  • カメラの電源がONになると、露光装置に搭載されているカメラの温度が上がる。
  • カメラ温度が上昇すると周囲の部品に熱が伝わって温度ドリフトが発生してしまう。
  • 温度ドリフトは精度に関わるが、補正が大変なので温度上昇を抑えて精度アップにつなげたい。

効果:フォールディングフィンの設置によって カメラ温度の低下を確認できた

  • フォールディングフィンをカメラ周囲に設置することで温度上昇を約40%低減し、放熱効果を確認できた。
  • 適切なフィンの形状は弊社にて選定・提案、カメラに合わせた固定金具も提案・製作した。

実際の温度測定データ

>フォールディングフィン設置による実際の温度測定データ

測定写真

フォールディングフィン設置による温度変化測定写真

株式会社大日本科研様 会社概要(2021年06月01日現在)

設立1967年(昭和42年)2月3日
資本金5000万円
従業員数143名
事業内容・精密機器の設計・製作・販売
・理化学機器、計測器、光学機器の設計・製作・販売

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